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PVD CVD 優缺點
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電子束蒸鍍
電子束蒸鍍成長薄膜的過程中沒有化學反應發生,所以屬於物理氣相沉積(pvd),由於只 ... 蒸鍍濺鍍優缺點: 濺鍍對於真空的要求並不如蒸鍍來的高,機體容量較小,容易實現 ...
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