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PVD CVD 優缺點
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薄膜沈積(Thin Film Deposition)www.tool-tool.com
相較於晶圓基板,磊晶成長的半導體薄膜的優點主要有:可以在沈積過程中 ... PVD與CVD的差別在於:PVD的吸附與吸解是物理性的吸附與吸解作用,而CVD的 ...
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