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PVD CVD 優缺點
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http://ykuo.ncue.edu.tw/report/003-Optical%20thin%20films.doc
光學薄膜技術發展與應用光電子學期末報告學生
a)化學氣相沈積法(CVD) :所謂化學氣相鍍膜法是利用膜材料之氣體化合物 ... 然後將離子引出,並放射電子與離子中和,用之來做沈積膜的轟擊助鍍,則是夫有下大優點。1.
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