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PVD CVD 優缺點
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不同基材中化學流體沉積之探討(2/2) 研究成果報告(完整版)
對於具高深寛比結構的基材上,CVD 可較PVD 具更佳的披覆性,當 ... 最早研發的CVD 系統是在常壓下進行反應成膜,其優點是高沈積速率、晶圓工. 作容量較大,缺點則是常 ...
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