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PVD CVD 優缺點
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射頻濺鍍機之製程與設備初步技術實習
平面二極式濺鍍機的優點是,構造簡單,可沉積多層膜,耐火的(refractory). 材料,絕緣膜或絕緣材料。 ... 雖然薄膜沈積技術因此而分為PVD 與CVD,但是這些沈.
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