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PVD CVD 優缺點
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PVD濺鍍-威慶科技
變成氣相的原子再受到外加電場的影響進而沉積. 於基材上形成薄膜。 PVD濺鍍原理. PVD設備結構介紹. PVD濺鍍設備結構. PVD濺鍍的優點與限制: a. 優點~. 無污染。
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