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PVD CVD 優缺點
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pvd與cvd的相似點與不同點 - 就問知識人
cvd 的優缺點:. 優點:cvd製備所得到的薄膜或材料一般純度很高,很緻密,而且容易形成結晶定向好的材料;能在較低溫度下製備難容物質;便於製備各種 ...
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