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PVD CVD 優缺點
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金屬化學氣相沈積在積體電路技術的發展
微小化後,傳統物理氣相沈積(PVD)的應用漸. 漸受到限制。 ... CVD TiN根據其所使用的含鈦反應氣體種 ... 項特色就製程整合而言,是一個極大的優點,.
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