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PVD CVD 優缺點
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PVD / CVD薄膜沈積(Thin Film Deposition)www.tool-tool.com
與APCVD系統相比較,LPCVD系統的主要優點在於具有優異的薄膜均勻度,以及較佳的階梯覆蓋能力,並且可以沈積大面積的晶片;而LPCVD的缺點則是沈積速率較低 ...
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