PVD 的缺點︰. ▫ 階梯覆蓋(Step coverage)能力較差(CVD>濺鍍>真空蒸鍍. >E-gun) ... 缺點. 優點. 加熱來源. 台灣師範大學機電科技學系. C. R. Yang, NTNU MT.
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