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SOI MOSFET 氣體微感測器之設計與發展 - 台灣儀器科技研究中心

因應半導. 體產業的大規模量產，應用成熟的CMOS 或Bi-CMOS 標準製程技術來製造以往無法大量生. 產的氣體感測器已非難事，而微小化之SOI MOSFET 氣體微感測器亦可在成本及感 ...

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