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在n 通道MOSFET 製程技術中,利用間隙壁(spacer)及兩次 ...
三、在n 通道MOSFET 製程技術中,利用間隙壁(spacer)及兩次離子佈植實施LDD (lightly doped drain)結構,請說明製程步驟。(15 分).
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