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MEMS｜莎姆克

MEMS Process Flow Diagram. 絕緣層覆矽基板（SOI）. Si, SOI Substrate. 曝光／顯影. MEMS. 矽的高速深蝕刻. RIE-800iPB · RIE-400iPB. 蝕刻矽. MEMS. 乾式洗淨.

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