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微機電系統技術與應用介紹微/奈米科技起源與發展

微機電 (MEMS)感測器或致動器是一種利用微米級立體結構，來進行感測動作或. 執行功能的一項關鍵零組件，在裝置上既擁有電子訊號的處理能力，並且有機械. 結構的運動能力。

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