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基於諧振器CMOS MEMS 結構之單晶片多感測器設計

本論文提出基於標準1P6M 0.18μm CMOS MEMS製程之溫度相關懸臂梁曲率解析模型。 透過此模型，因製程溫度造成的影響，可透過量測少數CMOS層疊組合的曲率萃取關鍵參數， ...

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