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微機電感測晶片(MEMS Sensor)

微機電 感測晶片(MEMS Sensor). 微機電系統為一智慧型微小化系統，指利用黃光顯影、蝕刻、薄膜成長等半導體製程技術，製作微小的機械元件、光學元件或電子元件，將兩個 ...

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