... MEMS麦克风、压力传感器、超声波传感器等; 第二种为器件密闭在封盖中的封闭式结构,例如振荡器、加速度计、陀螺仪等。 MEMS麦克风. 压力传感器. 加速度计. 陀螺仪. 超声波 ...
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