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微機電系統(MEMS)

微機電 系統（簡稱MEMS）器件（包括加速度計、陀螺儀和麥克風）的使用範圍不斷擴大，目前已成為移動設備、汽車和醫療裝置市場持續轉型的主要貢獻者。

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