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基于MEMS加工工艺的复杂结构微通道散热器研究 - 学位论文库

基于MEMS加工工艺的复杂结构微通道散热器研究. 王艳. 【摘要】： 从宏观器件的微小型化到功能化微小型器件的独立开发,结构的微型化使器件内部的物质和能量输运均受到了 ...

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