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微机电系统 - 百科全书

最早的硅片之一压力传感器 被各向同性微加工霍尼韦尔 在1962年。 MEMS器件的早期示例是谐振门晶体管，它是MOSFET的改编版，由哈维·内森森（Harvey C.Nathanson） 1965 ...

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