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微纳器件MEMS/微纳加工微纳器件代工/离子束刻蚀

MEMS 微纳热盘，即微型薄膜加热器，是运用介质薄膜支撑和热隔离，通电发热，达到预定温度。因此可以依据客户要求，可以设计成不同的温度区间，从而达到客户的实际产品 ...

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