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日本学者利用MEMS悬臂梁制造等离子体近红外光谱仪_前沿科技

近红外光谱可为物质提供特有的吸收光谱，从而使鉴别气体种类成为可能。因此，需要利用小型化光谱仪实现紧凑型气体传感器，从而监测生活空间的空气质量 ...

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