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克服多重技术障碍成就“指尖”上的FTIR光谱仪 - 电子工程世界

其利用专有的MEMS技术（半导体材料的三维精密加工的尖端技术），在硅晶片上来制造所有的光学分光元件，最终在只有指尖那么大MEMS-FTIR驱动元件上，实现 ...

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