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基于MEMS的光谱仪的光学光栅技术—综述,IEEE Sensors Journal

本文研究了光谱仪在基于一致性的手持式微电子机械系统（MEMS）光谱仪参数测量中的创新。快速，高度灵敏的微型光谱技术为各种应用提供了快速， ...

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