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CN101021437A - 一种基于微电子机械系统技术的微型光谱仪

本发明提出了一种基于微电子机械系统技术的微型光谱仪，包括光纤连接器、入射狭缝、反射镜、闪耀光栅、聚焦镜和探测器等组成部分。反射镜采用微电子机械系统技术(MEMS) ...

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