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MEMS 光譜儀
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二維MEMS陣列為移動式光譜儀開闢了道路 - 每日頭條
在採用MEMS技術的光譜系統中,衍射光柵和聚焦元件執行和以前一樣的功能,不同的是,來自聚焦元件的光線將成像在MEMS陣列上。為了選擇所要分析的波長,光波 ...
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