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基于MEMS微镜的傅里叶变换光谱仪原理与分析

摘要： 提出了一种新型的基于可编程MEMS(micro-electro-mechanical systems)微镜的微型傅里叶变换红外光谱仪。该光谱仪采用可编程MEMS微镜和倾斜反射镜替代了传统傅里 ...

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