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光譜儀的生醫應用– 多功能生化分析儀 - 電子時報

在UM超微型光譜儀中，利用半導體微機電MEMS製程技術，打造全球首創光譜儀的矽晶圓波導(Waveguide)，將精度提高至少20倍，生產良率從50% 提升至95%，成本 ...

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