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Low k
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https://www.m-chemical.co.jp/cn/products/departments/mcc/semicon/product/1202088_8755.html
高性能洗涤剂Post Cu/Low-k CMP Cleaning Solution, "MCX ...
技术被要求在基板不造成腐蚀、损坏的基础,再加上可去除Cu配线及Low-k膜上残留的研磨液有机残渣或粒子。三菱化学生产的MCX-SDR4便是为满足这些要求,可达到高清洗效果的 ...
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