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LCS 與N2P機台整合 - 盟立自動化

AMHS Device Control System - LCS 與N2P機台整合 ... N2 Purge(N2P)設備是一種運用在半導廠內的設備機台，FOUP載具填充惰性氣體（氮氣N2）以降低晶圓氧化及保持乾燥狀態穩定 ...

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