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kla scan 原理的推薦與評價，PTT、YOUTUBE和網紅們這樣回答

其工作原理是利用電子束直射待測元件，大量的電子瞬間累積於元件中，改變了元件的表面電位(surface potentail)，當表面電位大於0 (相對於元件的基板(substrate)電位)， ...

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