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KLA-Tencor, 신규 결함 검사 시스템 2종 발표

Voyager 1015·Surfscan SP7 … 공정·장비 모니터링의 난제 해결. KLA-Tencor가 첨단 로직 및 메모리 공정 노드의 실리콘 웨이퍼와 반도체 칩 제조 과정 ...

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