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5. ウェーハ欠陥検査装置とは : 日立ハイテク

ウェーハ欠陥検査装置とは、半導体製造工程の前工程で半導体ウェーハ上の異物やパターン欠陥を検出し、その欠陥の位置座標（X,Y）を求める装置です。

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