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KLA-Tencor, 새로운 반도체 결함 검사 시스템 2종 발표

Surfscan SP7 시스템은 베어 웨이퍼(Bare wafer)나 필름의 결함을 검출한다. 이는 7nm 로직과 첨단 메모리 기술 노드를 위한 실리콘 기판 제조에.

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