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TW202146887A - 半導體晶圓的評估方法

KLA 公司製Surfscan系列SP7， 作為入射系統，具有： 斜向雷射光源(紫外光源)，使入射光對評估對象晶圓的塗佈層表面斜入射；以及垂直雷射光源(紫外光源)，經由鏡子使入射光對 ...

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