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KLA-텐코,공정·장비 모니터링 2대 핵심 난제 해결 장비2종 공개

KLA -텐코(KLA-Tencor)는 첨단 로직 및 메모리 공정 노드의 실리콘 웨이퍼 ... Surfscan SP7 시스템은 베어 웨이퍼(Bare wafer)나 필름의 결함을 전례 ...

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