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德国kla-tencor晶圆缺陷检测器Puma 9980_工业机器

Surfscan SP7采用具有峰值功率控制的DUV激光光源，新颖的光学架构，一系列光斑尺寸和先进的算法，可为裸晶圆，光滑和粗糙的薄膜以及易碎的抗蚀剂提供*高的灵敏度和增强的 ...

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