Surfscan SP7采用具有峰值功率控制的DUV激光光源,新颖的光学架构,一系列光斑尺寸和***的算法,可为裸晶圆,光滑和粗糙的薄膜以及易碎的抗蚀剂提供极高的灵敏度和增强的 ...
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