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KLA-Tencor推出兩款缺陷檢測產品

Surfscan SP7系統為裸晶圓、平滑和粗糙的薄膜提供了前所未有的缺陷檢測靈敏度，這對於製造用於7nm邏輯與高級記憶體器件節點的矽基底非常重要，同時也是在 ...

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