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KLA新工具解決3D NAND製程與3nm邏輯缺陷難題 - 新電子

KLA 日前發布兩款新產品：PWG5晶圓幾何形狀量測系統和Surfscan SP7XP晶圓 ... 相對於Surfscan SP7基準，這些缺陷分類功能可以針對更廣泛材料的膜層和 ...

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