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KLA-Tencor针对16nm以下制程推四款新系统

在「SEMICON West 国际半导体展」上，KLA-Tencor宣布推出四款新的系统──2920 系列、Puma 9850、Surfscan SP5 和eDR-7110──为16nm 及以下的积体电路装置研发与生产 ...

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