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KLA텐코, 16나노 이하 반도체 검사장비 출시 - 지디넷코리아

... 솔루션 공급업체 KLA텐코(KLA-Tencor)는 16nm 이하 반도체 생산공정에 적용되는 검사 및 리뷰 장비 신제품 4종(제품명 D6, Puma5, Surfscan SP5, ...

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