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KLA-Tencor提供高效率晶圓檢測系統 - 電子工程專輯.

今年KLA-Tencor 推出四款新的系統──2920系列、Puma 9850、Surfscan SP5 和eDR-7110 — 為16nm 及以下的晶片研發與生產提供更先進的缺陷檢測與複查 ...

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