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Ferrotec（中国）300mm 半导体晶圆再生项目来袭 - 大和热磁

... 另外量测设备采用美国KLA-Tencor SP5 颗粒检测仪, 具有DUV 灵敏度和高吞吐量的无图案晶圆表面检测系统，加工与量测设备均处于国际行业领先水平。

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