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光学检查机Surfscan series 表面无图案晶圆高解析度 - 自动化

规格型号：Surfscan series ，公司品牌：KLA - TENCOR。 ... Surfscan SP5: 无图案晶圆表面检测系统，不仅产量高也具有DUV灵敏度，适用于2X / 1Xnm设计节点的IC、基板 ...

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