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KLA-Tencor四款新系統提供先進的缺陷檢測與檢查能力

在美國西部半導體設備暨材料展(SEMICON West) 上，KLA-Tencor公司宣布推出四款新的系統——2920系列、Puma 9850、Surfscan SP5和eDR-7110——為16nm及以下 ...

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