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KLA-Tencor 為領先的積體電路技術推出檢測與檢查系列產品

Surfscan SP5 無圖案晶圓檢測儀使用了更先進的DUV 光學技術，提供了量產產出速度下缺陷靈敏度達20奈米以下，可偵測微小晶圓表面或薄膜製程後的缺陷，避免 ...

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