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KLA-Tencor推出4款全新量測系統

KLA -Tencor公司針對次10奈米(sub-10nm)積體電路(IC)元件的開發和量產推出4款創新的量測系統，Archer600疊對量測系統，WaferSight PWG2圖案化晶圓幾何 ...

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