CIRCL 集群工具有四个模块,覆盖所有晶圆表面,以高吞吐量提供并行数据采集,实现**的过程控制。包含***一代CIRCL5系统的模块包括:正面晶圆缺陷检测; 晶圆边缘缺陷检查, ...
確定! 回上一頁