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先進缺陷檢測與製程監控因應10nm良率挑戰- 電子技術設計

KLA -Tencor Corporation宣佈為先進IC元件製造推出六套先進的缺陷檢測與檢查系統：3900系列和2930系列寬頻電漿光學檢測儀、Puma 9980雷射掃描檢測儀、CIRCL ...

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